Специалистами ООО «Спектр» разработаны и зарегистрированы технические условия на пленкообразующие материалы для вакуумного напыления:
– Оксидные материалы. ТУ 20.59.59-001-38857157-2023;
– Галогениды. ТУ 20.59.59-003-38857157-2023;
– Халькогениды. ТУ 20.59.59-002-38857157-2023;
– Теллуриды .ТУ 20.59.59-007-38857157-2023
Данные материалы представляют собой таблетки, гранулы или мишени (диски) заданного размера из высокочистых соединений (4N и 5N).
