Специалистами ООО «Спектр» разработаны и зарегистрированы технические условия на пленкообразующие материалы для вакуумного напыления:– Оксидные материалы. ТУ 20.59.59-001-38857157-2023;– Галогениды. ТУ 20.59.59-003-38857157-2023;– Халькогениды. ТУ 20.59.59-002-38857157-2023;– Теллуриды .ТУ 20.59.59-007-38857157-2023Данные материалы представляют собой таблетки, гранулы или мишени (диски) заданного размера из высокочистых соединений (4N и 5N).